主要用途
半导体生产设备中的气体流量测控，防泄漏要求高的生产线。
标准参数
| 测量对象 | 全部液体，全部气体 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范围 | 空气 | 最小范围：5~50L/min(nor) | |
| 最大范围：6~60L/min(nor) | |||
| 水 | 最小范围：5~50mL/min | ||
| 最大范围：0.2～2L/min | |||
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· 空气在0°C，0Mpa(1atm)的流量。 · 选择流量范围时，请到官网下载中心下载本产品PDF，参照标准流量表。 · 如果气体的使用压力不为0MPa，请电话咨询。 |
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| 有效刻度范围 | 10：1 | ||
| 有效指示精度 | P-813：±3％ F.S. | ||
| P-812：±5％ F.S. | |||
| 最高使用温度 | 120℃ （使用FPM时） | ||
| 材质 | 本体接液部 | SCS14（标准）, SUS316（亦可，详情请咨询） | |
| 锥管 | 耐热玻璃 | ||
| 垫圈 | FPM（最高120℃） | ||
| CR（最高80℃） | |||
| 本体侧板 | SUS304 | ||
| 面板 | 透明PVC | ||
| 连接方式 | 标准 | Rc1/4 | |
| 可选 | Rc1/8 | ||
| NPT1/4 | |||
| 1/4SW, 3/8SW | |||
| 1/4VCR, 3/8VCR | |||
| 安装方法 | 标准 | 面板前安装六角螺母 | |
| 可选 | 安装遮光板 | ||
| 重量（标准型） | 约0.6kg（P-813） | ||
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