主要用途
半导体生产设备
标准参数
| 测定对象 | 水，所有气体 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范围 | 空气 | 最小：4 ～ 20 mL/min（nor） | |
| 最大：12 ～ 60 L/min（nor） | |||
| 水 | 最小：5 ～ 50 mL/min | ||
| 最大：0.2 ～ 2 L/min | |||
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· 空气在0°C，0Mpa(1atm)的流量。 · 选择流量范围时，请到官网下载中心下载本产品PDF，参照标准流量表。 · 气体的使用压力不为0MPa，请电话咨询。 |
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| 有效刻度范围 | 10：1（一部分为10：2） | ||
| 有效指示精度 | P-823：±3 ％ F.S. | ||
| P-821：±5 ％ F.S. | |||
| 最高使用压力 | 0.8 MPa | ||
| 最高使用温度 | 120℃ | ||
| 材质构成 | 本体接液部 | SCS14（标准）, SUS316（SUS316L亦可） | |
| 锥管 | 耐热玻璃 | ||
| 垫圈 | FPM（最高120℃） | ||
| CR（最高80℃） | |||
| 本体侧板 | SPCC，C2801P | ||
| 面板 | 亚克力 | ||
| 连接方式 | 标准 | Rc1/4 | |
| 可选 | Rc1/8 | ||
| NPT1/4, NPT1/8 | |||
| 1/4SW , 3/8SW | |||
| 1/4VCR, 3/8VCR | |||
| 安装方法 | 标准 | 面板前安装六角螺母 | |
| 可选 | 安装遮光板 | ||
| 重量（标准型） | 约0.6kg（P-821） | ||
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