主要用途
适用于半导体制造装置冷却水生产线
标准参数
| 测定流体 | 全部液体 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范围 | 水 | 最小0.1 ~ 1 L/min | |
| 最大1 ~ 10 L/min | |||
| 有效刻度范围 | 10：1 | ||
| 有效指示精度 | ±10％ F.S. | ||
| 最高使用压力 | 1.0MPa | ||
| 最高使用温度 | 60℃ | ||
| 材质构成 | 本体接液部 | 亚克力 | |
| 锥管 | 亚克力 | ||
| 垫圈 | NBR（标准） | ||
| FPM,CR（可选） | |||
| 接手 | C3604（标准） | ||
| SUS304, SUS316（可选） | |||
| 连接方式 | 标准 | Rc3/8 （标准） | |
| 可选 | 3/8SW，NPT3/8等 | ||
| 安装方法 | 标准 | 面板前安装螺丝固定 | |
| 重量（标准型） | 约0.3kg | ||
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