主要用途
适用于半导体制造装置冷却水生产线等
标准参数
| 测量对象 | 全部液体（水相当） | ||
|---|---|---|---|
| 流量范围 | 水 | 最小：0.1 ～ 1 L/min | |
| 最大：1.5 ～ 7 L/min | |||
| 有效刻度范围 | 10：1 （部分为10：2） | ||
| 有效指示精度 | ±10 ％ F.S. | ||
| 最高使用压力 | 1 MPa | ||
| 最高使用温度 | 130 ℃ | ||
| 材质 | 本体接液部 | SCS14/SUS304 | |
| 锥管 | 耐热玻璃 | ||
| 垫圈 | FPM | ||
| 侧板 | 铝 | ||
| 面板 | 亚克力 | ||
| 连接方式 | 标准 | 3/8SW | |
| 可选 | Rc3/8 | ||
| NPT3/8 | |||
| 安装方法 | 标准 | 面板前安装螺丝固定 | |
| 重量（标准型） | 约0.5kg | ||
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